高精度高純臭氧發(fā)生器以高純氧為氣源，以介質(zhì)阻擋放電方式產(chǎn)生臭氧內(nèi)部從發(fā)生室、管接頭到管路均采用半導(dǎo)體級(jí)材料，控制儀器儀表均為高純件，設(shè)備在百級(jí)潔凈車(chē)間生產(chǎn)裝配和調(diào)試，以減少金屬離子在析出，保證臭氧氣純度與濃度；內(nèi)置質(zhì)量流量計(jì)、高精度壓力調(diào)節(jié)控制，對(duì)氣源進(jìn)行嚴(yán)格把控調(diào)節(jié)；臭氧濃度實(shí)時(shí)顯示，臭氧產(chǎn)量通過(guò)百分比調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍0-40g /h；采用水冷加風(fēng)冷組合冷卻方式，使設(shè)備運(yùn)行更穩(wěn)定且長(zhǎng)效。